Micro LED量產起飛在即，日本設備廠商展技術方案

?? ? ?相較于不久前各國際品牌在CES上推出各種爭奇斗艷的新產品，參與日本電子展NEPCON的公司，則多關注于技術面的交流跟革新，這兩種截然不同的展會風格正好反映在Micro LED技術的演示上。

?? ? ?雖然在今年的NEPCON Japan上，較少看到廠商主打Micro LED或Mini LED技術及產品，但LEDinside仍觀察到幾家日本的設備公司介紹自家的巨量轉移及檢測技術，針對已在商轉門口就定位的Micro LED顯示技術，提供量產方案。

?? ? ?日本信越展出Micro LED的轉移方案，先將晶圓片放上信越開發(fā)的暫存基板，并利用雷射剝離製程Laser Lift-off將Micro LED晶片打到暫存基板上，移除藍寶石基板，后續(xù)再透過清洗，去除晶片上的鎵Ga，接著以信越的轉印方案將Micro LED晶片轉移到顯示器背板上。該方案適用于覆晶技術flip-chip，最新一代的轉印可處理4吋晶圓。

?? ? ?之前推出Micro LED轉移以及檢測修復方案的Toray今年也沒缺席。透過攝影檢查LED晶片上的缺陷，并用雷射打掉不合格的晶片，再以其設備精準定位RGBLED進行轉移，最后再次檢驗并補齊缺陷，提升良率。

?? ? ?TDK本次也低調在攤位展出Micro LED製程解決方案的說明海報。針對Micro LED的壞點移除、巨量轉移、晶片檢測修復以及背板接合都有應對的技術設備。可以大量轉移最小到10μm的Micro LED晶片，精準度則來到±1.9μm以下。據(jù)TDK表示，其解決方案已獲知名中國及韓國廠商採用。

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